阿尔法碳化硅是由碳素和硅元素热合成而成的化合物,其晶形有六方晶系和立方晶系两种。其中六方晶系又包括α、β、γ晶型,立方晶系则仅有β晶型。
α- 阿尔法碳化硅晶型:α- SiC晶型是一种六方最密堆积结构,对应于半岛式晶胞,通常由4H、6H及15R等不同的多晶形式出现,在空气中稳定到1300°C,同时在惰性气氛能耐受至2000°C以上。
β- 碳化硅晶型:β- SiC晶型是由半岛式晶胞组成的。
γ-碳化硅晶型:γ- SiC通常是由流体沉积法制备得到,其结构在α- SiC的基础上进一步发生变化。